Profil filtreleri bir profili büyük ölçekli ve kısa ölçekli bileşenlere ayırır.
Bir S filtresi profili kısa ölçekli bileşenleri kaldırır, bir L filtresi profili ise büyük ölçekli bileşenleri kaldırır.
Yerleştirme indeksi Nic (önceden kesme λc), pürüzlülükten dalgalılığa geçişi tanımlar.
Ortalama doğru, profilin her noktası için ağırlıklı bir ortalama değer oluşturularak faz düzeltmeli filtreyle oluşturulur.
Ağırlıklı fonksiyon, ortalama değer oluşumunda (Gauss çan eğrisi) bitişik profil noktalarının girildiği ağırlık faktörüne sahip olan her bir profil noktası için belirtilir.
R profili (pürüzlülük profili), birincil profilin S filtresi profilinin ortalama doğrusundan sapmasıdır. Pürüzlülük profili görüntülenirken ortalama doğru referans doğrusudur.
